四氟化碳
别名 / 同义词: 五氟乙烷/C2H5/R125、四氟甲烷、四氟甲烷 R41、四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳、四氟甲烷四氟化碳、硼烷、乙 硼烷、硼烷混合气-远创气体、高纯四氟化碳
四氟化碳（CAS 75-73-0）是晶世纪化学数据库收录的卤代烃。分子式为 CF4，分子量为 88.00430 g/mol。主要理化性质包括熔点 −184 °C(lit.)、沸点 −130 °C(lit.)、密度 3.04 (vs air)。GHS 信号词为警告，危害声明包括H280。目前暂无供应商报价，可通过联系页询价。数据更新于 2026年8月21日。
- CAS号
- 75-73-0
- 晶世纪编号
- J-22415-4
- 分子式
- CF4
- 英文名
- Carbon tetrafluoride
- 分子量
- 88.00430 g/mol
- 分类
- 卤代烃
- 更新时间
- 2026/8/21
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获取报价基础理化性质
| 熔点 | −184 °C(lit.) |
|---|---|
| 沸点 | −130 °C(lit.) |
| 密度 | 3.04 (vs air) |
| 精确质量 | 87.99360 |
| LogP | 1.47570 |
| 外观性状 | 无色气体 |
| 蒸汽密度 | 3.04 (vs air) |
| 折射率 | 1.113 (-53ºC) |
| 储存条件 | 储存注意事项储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
| 稳定性 | 常温常压下稳定，避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体，遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险。化学性质稳定，不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。 |
| 分子结构 | 1、摩尔折射率：7.3 2、摩尔体积（cm 3 /mol）：66.8 3、等张比容（90.2K）：105.0 4、表面张力（dyne/cm）：6.0 5、介电常数：无可用 6、偶极距（10 -24 cm 3 ）：无可用 7、极化率：2.89 |
| 计算化学 | 1.疏水参数计算参考值（XlogP）:1.8 2.氢键供体数量:0 3.氢键受体数量:4 4.可旋转化学键数量:0 5.互变异构体数量:无 6.拓扑分子极性表面积0 7.重原子数量:5 8.表面电荷:0 9.复杂度:19.1 10.同位素原子数量:0 11.确定原子立构中心数量:0 12.不确定原子立构中心数量:0 13.确定化学键立构中心数量:0 14.不确定化学键立构中心数量:0 15.共价键单元数量:1 |
| 更多 | 1.性状：无色无味气体 2.熔点（℃）：-183.6 3.沸点（℃）：-127.8 4.相对密度（水=1）：1.96（-184℃） 5.相对蒸气密度（空气=1）：3.04 6.饱和蒸气压（kPa）：13.33（-150.7℃） 7.临界温度（℃）：-45.5 8.临界压力（MPa）：3.74 9.辛醇/水分配系数：1.18 10.溶解性：不溶于水，溶于苯和氯仿。 11.临界密度（g·cm -3 ）：0.626 12.临界体积（cm 3 ·mol -1 ）：141 13.临界压缩因子：0.279 14.van der Waals面积（cm 2 ·mol -1 ）：4.600×10 9 15.van der Waals体积（cm 3 ·mol -1 ）：27.330 16.Lennard-Jones参数（A）：4.5306 17.Lennard-Jones参数（K）：158.90 18.气相标准声称热(焓)( kJ·mol -1 ) ：-933.5 19.气相标准熵(J·mol -1 ·K -1 ) ：261.40 20.气相标准生成自由能( kJ·mol -1 )：-888.8 21.气相标准热熔(J·mol -1 ·K -1 )：61.05 |
GHS 安全数据与合规
- H280
毒性与生态
四氟化碳毒理学数据:
1.急性毒性 暂无资料
2.刺激性 暂无资料
3.其他 LCLo：895000ppm（大鼠吸入，15min）
四氟化碳生态学数据:
1.生态毒性 暂无资料
2.生物降解性 暂无资料
3.非生物降解性 暂无资料
4.其他有害作用 温室气体，其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。氟代烃的低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
制备 / 合成方法
1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。
2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。
MSDS（安全技术说明书）
| 第一部分：化学品名称 |
| 化学品中文名称： | 四氟甲烷 |
| 化学品英文名称： | tetrafluoromethane |
| 中文名称 2 ： | 四氟化碳 |
| 英文名称 2 ： | carbon tetrafluoride |
| 技术说明书编码： | 76 |
| CAS No. ： | 75-73-0 |
| 分子式： | CF4 |
| 分子量： | 88.01 |
| 第二部分：成分 / 组成信息 |
|
| 第三部分：危险性概述 |
| 危险性类别： | |
| 侵入途径： | |
| 健康危害： | 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 |
| 环境危害： | |
| 燃爆危险： | 本品不燃，具窒息性。 |
| 第四部分：急救措施 |
| 皮肤接触： | |
| 眼睛接触： | |
| 吸入： | 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 |
| 食入： |
| 第五部分：消防措施 |
| 危险特性： | 不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。 |
| 有害燃烧产物： | 氟化氢。 |
| 灭火方法： | 本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。 |
| 第六部分：泄漏应急处理 |
| 应急处理： | 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。 |
| 第七部分：操作处置与储存 |
| 操作注意事项： | 密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。 |
| 储存注意事项： | 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 |
| 第八部分：接触控制 / 个体防护 |
| 职业接触限值 | |
| 中国 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
| 前苏联 MAC(mg/m3) ： | 未制定标准 |
| TLVTN ： | 未制定标准 |
| TLVWN ： | 未制定标准 |
| 监测方法： | |
| 工程控制： | 生产过程密闭，全面通风。 |
| 呼吸系统防护： | 一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。 |
| 眼睛防护： | 一般不需特殊防护。 |
| 身体防护： | 穿一般作业工作服。 |
| 手防护： | 戴一般作业防护手套。 |
| 其他防护： | 避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。 |
| 第九部分：理化特性 |
| 主要成分： | 纯品 |
| 外观与性状： | 无色无臭气体。 |
| pH ： | |
| 熔点 ( ℃ ) ： | -183.6 |
| 沸点 ( ℃ ) ： | -128.0 |
| 相对密度 ( 水 =1) ： | 1.61(-130℃) |
| 相对蒸气密度 ( 空气 =1) ： | 无资料 |
| 饱和蒸气压 (kPa) ： | 13.33(-150.7℃) |
| 燃烧热 (kJ/mol) ： | 无意义 |
| 临界温度 ( ℃ ) ： | -45.5 |
| 临界压力 (MPa) ： | 3.74 |
| 辛醇 / 水分配系数的对数值： | 无资料 |
| 闪点 ( ℃ ) ： | 无意义 |
| 引燃温度 ( ℃ ) ： | 无意义 |
| 爆炸上限 %(V/V) ： | 无意义 |
| 爆炸下限 %(V/V) ： | 无意义 |
| 溶解性： | 不溶于水。 |
| 主要用途： | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
| 其它理化性质： |
| 第十部分：稳定性和反应活性 |
| 稳定性： | |
| 禁配物： | 强氧化剂、易燃或可燃物。 |
| 避免接触的条件： | |
| 聚合危害： | |
| 分解产物： |
| 第十一部分：毒理学资料 |
| 急性毒性： |
LD50
：无资料
LC50 ：无资料 |
| 亚急性和慢性毒性： | |
| 刺激性： | |
| 致敏性： | |
| 致突变性： | |
| 致畸性： | |
| 致癌性： |
| 第十二部分：生态学资料 |
| 生态毒理毒性： | |
| 生物降解性： | |
| 非生物降解性： | |
| 生物富集或生物积累性： | |
| 其它有害作用： | 该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。 |
| 第十三部分：废弃处置 |
| 废弃物性质： | |
| 废弃处置方法： | 根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。 |
| 废弃注意事项： |
| 第十四部分：运输信息 |
| 危险货物编号： | 22033 |
| UN 编号： | 1982 |
| 包装标志： | |
| 包装类别： | O53 |
| 包装方法： | 钢质气瓶。 |
| 运输注意事项： | 采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。 |
| 第十五部分：法规信息 |
| 法规信息 | 化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。 |
| 第十六部分：其他信息 |
| 参考文献： | |
| 填表时间： | |
| 填表部门： | |
| 数据审核单位： | |
| 修改说明： | |
| 其他信息： | |
| MSDS 修改日期： |
常见问题
四氟化碳 的 CAS 号是多少？
四氟化碳 的 CAS 号是 75-73-0。
四氟化碳 的分子式和分子量是什么？
四氟化碳 的分子式为 CF4，分子量为 88.00430 g/mol。
四氟化碳 有安全危害吗？
四氟化碳 的 GHS 信号词为 警告，危害声明包括 H280。
四氟化碳 的上游和下游产品有哪些？
四氟化碳 的上游产品: 四氯化碳、四氟乙烯、氯三氟甲烷；下游产品: 四氟乙烯、3-氟吡啶、4-氟吡啶。
数据来自PubChem等公开化学数据库与供应商目录；供应商报价由供应商提供。
更新时间:
引用格式: 晶世纪. “四氟化碳 (CAS 75-73-0)”. 晶世纪化学数据库. https://www.jingsj.com/zh/compound/J-22415-4（访问日期：2026-11-06）。
数据仅供参考；采购前请与供应商核实产品详细信息。