商品名：四氟化钛

别 名：四氟化钛;氟化钛(IV)；氟化钛；VANADIUM GALLIDE;VANADIUM-GALLIUM ALLOY;TiF4;Titanium fluoride (TiF4), (T-4)-;CEFUROXIME,FREE ACID;Titanic fluoride

英文名：Titanium tetrafluoride

产 地：湖南

Cas号：7783-63-3

MDL：

Beilstein：

EINECS：232-017-6

分子结构：

分子式：F4Ti

分子量：123.8600

备注：

性状：四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。

质量标准：含量98%以上

存储：

用途：用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。

联合编号：

RISK：

Safety：

Hazard：