商品名：四甲基氢氧化铵

别 名：显影液TMAH

英文名：Tetramethylammonium hydroxide solution

产 地：湖南

Cas号：75-59-2

MDL：MFCD00008280

Beilstein：3558708

EINECS：200-882-9

分子结构：

分子式：C4H13NO； (CH3)4N(OH)

分子量：91.1500

备注：

性状：无色至淡黄色液体，可溶
沸点:100ºC
粘性:25ºC
密度:1.016 (25% 水溶液)
折光率：1.3806。

质量标准：25%水溶液（25 wt. % in H2O）：

外观Appearance                           无色液体
红外光谱鉴别Infrared spectrometry        Conforms
折光率Refractive index n20/D             1.378 - 1.384
浓度Concentration                        24.0 - 26.0 %  (Titration by HCL)


25%甲醇溶液（25 wt. % in methanol）：


外观Appearance                           无色至淡黄色液体
浓度Concentration                        23.0 - 27.0 % (Titration by HCL)
水分Water                                5,0 - 10,0 % (by Karl Fischer)


10%水溶液（10 wt. % in H2O）：

外观Appearance                           无色液体
折光率Refractive index n20/D             1.350 - 1.354
核磁Proton NMR spectrum                  Conforms to Structure
浓度Concentration                        9.0 to 11.0 % (Titration by HCL)


10%甲醇溶液（10 wt. % in methanol）：


外观Appearance                           无色液体
折光率Refractive index n20/D             1.350 - 1.352
浓度Concentration                        9.0 to 11.0 % (中和滴定)
卤素halides (as chloride)                ≤0.3%  
硫酸根sulfate (SO42-)                    ≤1000 ppm

存储：

用途：在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等

联合编号：

RISK：

Safety：

Hazard：