商品名:四氟化钛
别 名:四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛;VANADIUM GALLIDE;VANADIUM-GALLIUM ALLOY;TiF4;Titanium fluoride (TiF4), (T-4)-;CEFUROXIME,FREE ACID;Titanic fluoride
英文名:Titanium tetrafluoride
产 地:湖南
Cas号:7783-63-3
MDL:
Beilstein:
EINECS:232-017-6
分子结构:
分子式:F4Ti
分子量:123.8600
备注:
性状:四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
质量标准:含量98%以上
存储:
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
联合编号:
RISK:
Safety:
Hazard: